FIS4-UHR 超高分辨率四波干涉传感器
FIS4-UHR 超高分辨率四波干涉传感器

FIS4-UHR 超高分辨率四波干涉传感器

Ultra‑High‑Resolution Four‑Wave Interferometric Sensor

适用于激光光束波前检测、自适应光学、平面面形测量、光学系统校准、光学窗口片检测、光学平面、球面面形测量、表面粗糙度检测

400~1100nm 波长范围
512*512 相位分辨率
15nm RMS 绝对精度
更大靶面更高精度 应用行业

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FIS4-UHR 超高分辨率四波干涉传感器——应用案例

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