FIS4-UV 紫外四波干涉传感器

Ultraviolet Four‑Wave Interferometric Sensor

适用于激光光束波前检测、光学系统像差测量、光学系统校准、微观刻蚀形貌测量、自适应光学光路、超表面波前测量、平面（晶圆）面形测量、光学球面面形测量等