FIS4-FIR-C远红外四波干涉传感器
FIS4-FIR-C远红外四波干涉传感器

FIS4-FIR-C远红外四波干涉传感器

Far‑Infrared Wavefront Sensor

FIS4-FIR-C所有功能与FIS4-NIR相同,同时由于采用了液冷制冷的方式,有效地抑制了由于升温引起的数据波动,使得检测中测量结果更加稳定。适用于对波前稳定性有更高要求的适用场合。#此款传感器可以搭配液冷散热器使用

8~14μm 波长范围
160*128 相位分辨率
70nm RMS 绝对精度
10.6μm中心波段EUV助力 应用行业

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FIS4-FIR-C远红外四波干涉传感器——应用案例

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