FIS4（FIS4-UV）基于四波横向剪切干涉原理，采用自研随机编码混合光栅，单光路自干涉、免参考镜，专为 190–400nm DUV 波段设计，可实现纳米级波前相位重建，是高能 DUV/EUV 激光研发阶段光束质量诊断、光学系统像差标定、热畸变监测的核心量测设备，解决传统波前检测设备在紫外波段抗振差、分辨率不足、无法在真实工况测量的痛点。