FIS4 波前传感器具备最高 200μm 的大面形测量动态范围，突破传统波前检测设备量程受限的瓶颈，既能测量高精度、微小起伏的理想光学平面 / 球面，也可直接检测大形变、大矢高的样品，例如翘曲晶圆、厚基底光学件、大曲率光学元件。一套设备覆盖从纳米级面形误差到百微米级整体形变的检测需求，是宽量程面形检测系统的核心探测单元。