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面形测量:检测光学平面和球面的面形精度
FIS4 波前传感器是高精度波前探测核心单元,可配合干涉系统完成大口径精密平面、球面光学元件的面形误差检测,把光学表面微小的面形起伏转化为可量化的波前数据,是光学元件出厂检验、抛光工艺调试、装调验证的关键测量器件。
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