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光学系统与元件检测
FIS4 检测透射波前,本质是直接量化光穿过元件之后的相位畸变,完整表征光学元器件真实工作性能;不仅用于产品合格判定,还能反向指导抛光、镀膜、装调工艺优化,把光学质量从 “表面指标管控” 升级到 “实际光路性能管控”。
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