采用FIS4四波横向剪切干涉传感器配合LED光源在多反射镜内部像差检测应用中具有显著优势。多反射镜系统广泛应用于光刻投影物镜、空间望远镜及激光谐振腔等精密光学装置中，其内部像差会严重劣化成像质量与光束传输性能。FIS4传感器基于四波横向剪切干涉原理，利用LED光源的宽光谱特性有效抑制相干噪声与散斑效应，提升干涉条纹对比度与测量稳定性。该方案无需参考镜，结构紧凑，抗振动能力强，可快速获取各反射镜的面形误差、装调偏差及累积像差。通过对波前数据进行Zernike多项式拟合分析，能够定量分离出离焦、像散、彗差、球差等各阶像差成分，全面评估多反射镜系统的光学质量与装调一致性，为高精度光学系统的制造检测、误差溯源及性能优化提供可靠的技术支撑。